1、真空鍍膜機(jī)配置1, 真空泵(1臺(tái))又名;滑閥泵。

2、旋片泵。

3、也叫機(jī)械泵。

(資料圖片僅供參考)

4、2, 蘿滋真空泵(1臺(tái))3, 油擴(kuò)散泵(1臺(tái)),現(xiàn)在市場(chǎng)上出現(xiàn)分子泵。

5、4, 真空計(jì)(1臺(tái)),5, 帶手調(diào)壓電閥(1臺(tái))6, 電爐(1個(gè))7, 脈沖偏壓(1臺(tái))以前的是直流的。

6、8, 離子源有(6個(gè)的,10個(gè),12個(gè),18個(gè))9, 弧源有(6個(gè),10個(gè),12個(gè),18個(gè))10, 真空爐體(1個(gè))11, 低真空閥門有(V1)12, 高真空閥門有(V2,V3,V4)13, V5是放氣閥14, 流量計(jì)有(4個(gè))15, 流量計(jì)控制儀(1個(gè),同時(shí)控制4路氣體)16, 維持泵(1個(gè),抽油擴(kuò)散泵的)17, 熱電偶(2個(gè)。

7、一個(gè)是測(cè)爐體溫度。

8、一個(gè)是測(cè)油擴(kuò)散泵溫度18, 真空泵前面還有一個(gè)電磁閥,是擋油的。

9、19, 有的機(jī)器帶磁控靶,有時(shí)是中頻的,有的是射頻的,有的叫柱狀把,有的叫孿生靶。

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